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半導體工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列
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TLS精密冷水機：使用溫度范圍：5~85℃，配有加熱器，屬于制冷加熱一體機。型號按加熱功率命名，加熱功率在1.5~25kW之間。精密冷水機可以滿足精確控溫的需求，也可以根據(jù)客戶要求選配流量計和壓力傳感器。本產(chǎn)品適用于半導體制造裝置、分析檢測裝置等發(fā)熱部分的冷卻及溫度的控制。
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