普泰克制冷設(shè)備
專注于半導體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：021-51602552
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Chiller半導體溫控設(shè)備主要用于半導體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。
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