一、操作前準(zhǔn)備

1. 設(shè)備檢查

• 外觀與連接：檢查設(shè)備外殼無(wú)破損，電源線、信號(hào)線（如與工藝腔室的通訊線）、冷卻管路（水冷式）連接牢固，無(wú)松動(dòng)或泄漏。

• 安全裝置：確認(rèn)急停按鈕、超溫報(bào)警、過(guò)流保護(hù)等安全功能正常（可通過(guò)設(shè)備自檢模式驗(yàn)證）。

• 溫控介質(zhì)：若為液體溫控（如導(dǎo)熱油、去離子水），檢查介質(zhì)液位在規(guī)定范圍（通常≥80%），無(wú)雜質(zhì)或變質(zhì)；若為氣體溫控（如氮?dú)猓_認(rèn)氣源壓力穩(wěn)定（一般 0.4-0.6MPa），純度符合工藝要求（如≥99.999%）。

• 環(huán)境條件：設(shè)備工作環(huán)境需潔凈（Class 1000 及以上潔凈室）、無(wú)振動(dòng)（振幅≤0.1μm）、溫度 18-25℃、濕度 40-60%，避免粉塵或腐蝕性氣體影響溫控精度。

2. 工藝參數(shù)確認(rèn)

• 根據(jù)生產(chǎn)工單明確工藝需求：目標(biāo)溫度（如退火工藝可能為 1000-1200℃，光刻膠固化可能為 90-120℃）、溫控精度（通常 ±0.1℃，工藝需 ±0.01℃）、升溫速率（如 5-10℃/min）、保溫時(shí)間（如 30-60s）、溫控區(qū)域（單點(diǎn)溫控或多點(diǎn)分區(qū)溫控）。

• 確認(rèn)溫控對(duì)象（如晶圓載臺(tái)、光刻鏡頭、反應(yīng)腔內(nèi)壁）的材質(zhì)兼容性，避免溫控介質(zhì)與對(duì)象發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（如金屬載臺(tái)需避免與酸性導(dǎo)熱液接觸）。